マイクロ加工・特殊加工用ツール



iv. マイクロ加工用センサ・計測システム(KL, OMM, CS Series,etc)

超抵触圧 工具先端位置検出センサー「Zセンサー」好評販売中!
*小径工具専用に開発された、接触式の超精密刃先先端位置検出センサーです。

特徴

・超低負荷での検出が可能なため、測定時の工具刃先破損および切れ刃への影響を防止できます。
  特に、これまで接触式での確認が難しいと言われていたφ0.1mm以下の工具に有効です。

・通常検出と超低負荷検出の切替可能です。
  通常検出 目盛値1μm (触圧250mg)
  超低負荷 目盛値0.1μm (触圧25mg)

・刃先位置検出以外にも、機械・スピンドル精度の測定にも使用できます。
  Z軸方向の繰返し位置精度、主軸の熱変位、工具摩耗量など

主な仕様
定格電源 AC100V
測定分解能 0.1μm
測定範囲 0〜5μm/0〜50μm
「METER SW」切替
外部入出力 ・アナログ出力
・HI信号出力
・オートZERO外部入力端子
検出部材質 ルビー

コントローラ背面



∧戻る